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LED灯珠外延布局及外延手艺研究中的其它具体手艺有:
①概况粗化手艺
LED灯珠外延概况粗化就是相当于改变出射角度避免出射光的全反射提超出跨越光率,因为外延材料的折射率与封装材料分歧致使部门出射光将被反射回到外延层。工艺上直接对外延概况进行处置,轻易毁伤外延有源层,并且透明电极更难建造,经由过程改变外延层发展前提到达概况粗化是可行之路。
②衬底剥离手艺
LED灯珠蓝宝石衬底激光剥离手艺是基于GaN同质外延剥离成长的手艺,操纵紫外激光照耀衬底,熔化过渡层剥离,2003年OSRAM用此工艺剥离蓝宝石,将出光率提至75%,是传统的3倍,并构成了出产线。
③LED灯珠倒装芯片手艺 据美国Lumileds公司数据,蓝宝石衬底的LED灯珠约增添出光率1.6倍。
④LED灯珠全方位反射膜 除出光正面以外,把其它面的出射光尽量全反射回外延层内,终究晋升从正面的出光率。
⑤LED灯珠二维光子晶体的微布局 可提超出跨越光效力,2003年9月日本松下电器建造出了直径1.5微米,高0.5微米的凹凸光子晶体的LED灯珠,出光率提高60%。
2、衬底手艺
LED灯珠经常使用的芯片衬底手艺线路首要有蓝宝石衬底、碳化硅衬底、硅衬底三年夜类,还有研制中的氮化镓、氧化锌等。对衬底材料提出要求:
①LED灯珠衬底与外延膜层的化学不变性匹配,衬底材料要有好的化学不变性,在外延发展的温度和蔼氛中不容易分化和侵蚀,不与外延膜发生化学反映使外延膜质量降落;
② LED灯珠衬底与外延膜层的热膨胀系数匹配,热膨胀系数相差过年夜,将使外延膜发展质量降落,在器件工作进程中,还可能因为发烧而造成器件的破坏;
③LED灯珠衬底与外延膜层的布局匹配,二者材料的晶体布局不异或附近,则晶格常数掉配小、结晶机能好、缺点密度低。
led灯珠暗我国LED灯珠硅衬底手艺今朝获得了手艺冲破,正在尽力向年夜范围财产化利用成长。今朝,已年夜量用于商品化的GaN基LED灯珠的衬底只有蓝宝石和碳化硅衬底。其它可用于GaN基LED灯珠的衬底材料还有离财产化还有相当一段距离的GaN同质衬底、ZnO衬底。
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